SK하이닉스, 식각 공정에 가우스랩스 AI 솔루션 도입

[경제일보] SK하이닉스가 투자한 산업용 인공지능(AI) 기업 가우스랩스가 AI 기반 가상 계측 솔루션 '판옵테스 VM(Panoptes Virtual Metrology)'의 2.0 버전을 출시했다고 13일 밝혔다. SK하이닉스는 박막 증착 공정에 이어 식각 공정에도 해당 솔루션을 도입할 계획이다.

반도체 계측은 반도체 제조 과정에서 반도체 소자의 물리적, 전기적 특성이 생산 공정별로 제대로 충족됐는지 측정해 생산성을 높이는 작업을 말한다. 판옵테스 VM 솔루션을 적용하면 물리적인 전수 계측 없이도 모든 제품의 공정 결과값을 예측할 수 있어 시간과 자원을 획기적으로 줄일 수 있다.

가우스랩스는 지난 2022년 판옵테스 VM 1.0을 출시했다. SK하이닉스는 반도체 박막 증착 공정(웨이퍼 위에 얇은 피막을 입히는 공정)에 이 솔루션을 적용한 바 있다. 장비 최적화 솔루션(APC)과 연동해 제품 품질 변동 수준도 약 29% 개선했다.

SK하이닉스는 이 같은 성과를 바탕으로 식각 공정에도 판옵테스 VM을 적용하기로 했다. 식각 공정은 웨이퍼에 액체 또는 기체의 부식액을 이용해 불필요한 부분을 선택적으로 제거해 반도체 회로 패턴을 만드는 과정이다. 

김영한 가우스랩스 대표는 "지난 4년간의 노력들이 가장 정밀한 제조 산업이라 불리는 반도체 분야에서 의미 있는 결과를 내고 있다"며 "여기서 얻은 산업용 AI 기술력을 바탕으로 글로벌 시장을 개척해 나가겠다"고 말했다.